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半導體MEMS
専用高速カメラ搭載（シングルヘッド、ダブルオプション）高速運動モジュール（リニアモーターモジュール、高速安定）全自動上下材料（ダブルボックス、交換頻度を低減）MESシステム機能（多種フォーマットMapping図ダウンロードアップロードをサポート）
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